Předmět Plazmové modifikace povrchů (KMT / PMP)
Na serveru studentino.cz naleznete nejrůznější studijní materiály: zápisky z přednášek nebo cvičení, vzorové testy, seminární práce, domácí úkoly a další z předmětu KMT / PMP - Plazmové modifikace povrchů, Fakulta strojní, Technická univerzita v Liberci (TUL).
Top 10 materiálů tohoto předmětu
Materiály tohoto předmětu
| Materiál | Typ | Datum | Počet stažení |
|---|
Další informace
Obsah
P Ř E D N Á Š K Y1. Kinetické teorie plynů2. Plazma3. Princip plazmových procesů4. Elektrické výboje 1 - stejnosměrné výboje5. Elektrické výboje 2 - střídavé a mikrovlnné výboje6. Typy plazmových procesů7. Plazmové reaktory 18. Plazmové reaktory 29. Procesy probíhající za atmosférického tlaku10. Plazmové leptání11. Plazmová modifikace povrchů12. Plazmové naprašování.13. Plazma CVD a plazmová polymerizace.C V I Č E N Í1. Základy vakuové techniky, měření natékání, mezního tlaku2. Plazmová modifikace plastických hmot, zvýšení adhese - nízkotlaký výboj3. Aplikace vysokotlakého výboje4. Příprava tenké vrstvy metodou PE CVD a proměření jejích vlastností5. Z á p o č t y .
Získané způsobilosti
Zvládnutí základů plazmových technologií
Literatura
B.N. CHAPMAN. Glow Discharge Processes. Johl Wiley & Sons 1980. A.SHERMAN. Chemical Vapor Deposition for Microelectronics. Noyes Publications 1987. J. REECE ROTH. Industrial Plasma Engineering: Applications. Institute of Physics Pub 2001, 2001. R. D AGOSTINO. Plasma Deposition,Treatment and Etchin of Polymers. Academic Press 1990. .A.LIEBERMAN, A.J.LICHTENBERG. Principles of Plasma Discharges and Materials Processing. John Wiley & Sons 1994. J.L.VOSSEN, W.Kern:. Thin Film Processes. Academic Press 1978. Academic Press, 1978. F.F.CHEN. Úvod do fyziky plazmatu. Academia Praha. VLČEK:. Úvod do fyziky plazmatu. Skripta. Plzeň, ZČU - FAV.
Požadavky
1. Absolvování praktických cvičení2. úspěšné složení zkoušky
Garant
prof. Ing. Petr Louda, CSc.
Vyučující
Ing. Aleš Kolouch, Ph.D.prof. Ing. Petr Louda, CSc.Ing. Aleš Kolouch, Ph.D.prof. Ing. Petr Louda, CSc.