Předmět Aplikace nízkoteplotního plazmatu (NBCM059)
Na serveru studentino.cz naleznete nejrůznější studijní materiály: zápisky z přednášek nebo cvičení, vzorové testy, seminární práce, domácí úkoly a další z předmětu NBCM059 - Aplikace nízkoteplotního plazmatu, Matematicko-fyzikální fakulta, Univerzita Karlova v Praze (UK).
Top 10 materiálů tohoto předmětu
Materiály tohoto předmětu
| Materiál | Typ | Datum | Počet stažení |
|---|
Další informace
Sylabus
1. Kinetický popis nízkoteplotního plazmatu. Řešení kinetické rovnice - Fockerův-Planckův srážkový člen. Vliv pružných a nepružných srážek na rozdělovací funkci elektronů. Vliv srážek elektron-elektron na rozdělovací funkci. Vliv magnetického pole. Kinetický popis nízkoteplotního plazmatu ve vícesložkových systémech. 2. Nízkoteplotní plazma ve výbojích - charakteristika a aplikace. Plazma ve výbojích generovaných stejnosměrným a střídavým polem. Vlivy difuze, rekombinace: -procesy. Příelektrodové oblasti. Vliv chemicky aktivních prostředí na procesy ve výbojovém plazmatu (elektronegativní plyny, kataforéza). Interakce iontů a neutrálních atomů s povrchy (katodové naprašování). Aplikace nízkoteplotního plazmatu v dalších technologiích (polymerace, leptání, vytváření tenkých vrstev, osvětlovací účely). 3. Částicové modelování nízkoteplotního plazmatu. Metody využívané pro modelování procesů ve výbojích (P-I-C, C-I-C, MD, MC). Modelování v chemicky aktivním nízkoteplotním plazmatu.
Garant
prof. RNDr. Hynek Biederman, DrSc.