Předmět Fyzika přípravy tenkých vrstev (NBCM213)
Na serveru studentino.cz naleznete nejrůznější studijní materiály: zápisky z přednášek nebo cvičení, vzorové testy, seminární práce, domácí úkoly a další z předmětu NBCM213 - Fyzika přípravy tenkých vrstev, Matematicko-fyzikální fakulta, Univerzita Karlova v Praze (UK).
Top 10 materiálů tohoto předmětu
Materiály tohoto předmětu
| Materiál | Typ | Datum | Počet stažení |
|---|
Další informace
Sylabus
Metody přípravy tenkých vrstev ve vakuu. Fyzikální základy vakuového napařování.Fyzikální a technické základy stejnosměrného a vysokofrekvenčního naprašování.Základní naprašovací systémy, iontové plátovaní a metody iontových svazků, základy chemického nanášení z plynné fáze za asistence plazmatu, základy plazmové polymerace, základní metody měření depoziční rychlosti a tloušťky tenkých vrstev.Základní mechanismy růstu tenké vrstvy, nukleace, růst a koalescence ostrovů, strukturální zonové modely a jejich aplikace pro nanostruktury. Přehled nevakuových metod přípravy tenkých vrstev. Přehled metod charakterizace vlastností tenkých vrstev.8.
Garant
doc. Ing. Andrey Shukurov, Ph.D.