Předmět Nízkoteplotní plazma a jeho aplikace (NEVF501)
Na serveru studentino.cz naleznete nejrůznější studijní materiály: zápisky z přednášek nebo cvičení, vzorové testy, seminární práce, domácí úkoly a další z předmětu NEVF501 - Nízkoteplotní plazma a jeho aplikace, Matematicko-fyzikální fakulta, Univerzita Karlova v Praze (UK).
Top 10 materiálů tohoto předmětu
Materiály tohoto předmětu
| Materiál | Typ | Datum | Počet stažení |
|---|
Další informace
Sylabus
1. Kinetický popis nízkoteplotního plazmatuŘešení kinetické rovnice - Fockerův-Planckův srážkový člen. Vliv pružných a nepružných srážek na rozdělovací funkci elektronů. Vliv srážek elektron - elektron na rozdělovací funkci. Maxwellovo rozdělení, nemaxwellovská rozdělení. Vliv magnetického pole. Kinetický popis nízkoteplotního plazmatu ve vícesložkových systémech, srážková frekvence. 2. Výbojové nízkoteplotní plazma a jeho aplikace v technologiíchPlazma ve výbojích generovaných stejnosměrným a střídavým polem. Vlivy difúze, rekombinace, beta a gama procesů na tyto výboje. Příelektrodové oblasti. Vliv chemicky aktivních prostředí na procesy v plazmatu (elektronegativní plyny, kataforéza). Interakce iontů a neutrálních atomů s povrchy. Katodové naprašování (závislost na energii, materiálu a podmínkách na povrchu). Metody vytváření tenkých vrstev různých vlastností. Plazmatická polymerace a leptání, sterilizace. Modelování v plazmochemii.
Literatura
Kracík J., Tobiáš J.: Fyzika plazmatu, Academia Praha 1966. Raizer J. P.: Gas Discharge Physics, Springer Verlag, Berlin, Heidelberg, 1991.Ricard A.: Reactive plasmas, Paris 1996.
Garant
doc. RNDr. Věra Hrachová, CSc.RNDr. Karel Rohlena, CSc.