Předmět Materiály pro elektrotechniku a mikroelektroniku (MpEM)
Na serveru studentino.cz naleznete nejrůznější studijní materiály: zápisky z přednášek nebo cvičení, vzorové testy, seminární práce, domácí úkoly a další z předmětu MpEM - Materiály pro elektrotechniku a mikroelektroniku, Vysoká škola báňská - Technická univerzita Ostrava (VŠB-TU).
Top 10 materiálů tohoto předmětu
Materiály tohoto předmětu
| Materiál | Typ | Datum | Počet stažení |
|---|
Další informace
Cíl
- student získá přehled o současných i perspektivních materiálech pro aplikace v elektrotechnice, mikroelektronicea optoelektronice,- student bude umět klasifikovat a objasnit stěžejní technologie přípravy pasivních a aktivních elektronickýchprvků,- student bude umět definovat a aplikovat postupy tvorby složitých mikrostruktur při planárně epitaxní technologii- student bude umět navrhnout vhodný materiál pro konkrétní pasivní či aktivní prvky v elektrotechnice a mikroelektronice,- student bude umět vyhodnotit a aplikovat poznatky z teorie při návrhu optimálních postupů při planárně epitaxnítechnologie (např. růst definovaných vrstev epitaxí, návrh mikrolegování, podmínky difuzních procesů…).
Osnova
1. Základní charakteristiky a požadavky na elektrotechnické materiály. Fyzikální, chemické a fyzikálně chemickémetody rafinace kovových i nekovových materiálů a jejich charakterizace. 2. Nové typy elektronických, optoelektronických a magnetických prvků. Vliv elektricky aktivních prvků na vlastnostielektronických součástek.3. Materiály s vysokou elektrickou vodivostí. Materiály pro kontakty, termočlánky, bimetaly, pájky, odporové materiály.Supravodivost. Nízkoteplotní a vysokoteplotní supravodiče. 4. Soudobé technologie výroby polovodičových materiálů a integrovaných obvodů, celková struktura technologií aplikovanýchv mikroelektronice, evoluce a druhy technologií, příprava podložek (substrátů), základy fotolitografie, základnímateriály používané při tvorbě struktury polovodičových prvků.5. Elementární polovodiče a polovodičové sloučeniny, dielektrické nanovrstvy a metody jejich vytváření, kovovékontakty a vnitřní spoje, mikrolegování, defekty polovodičových prvků, principy kontroly a automatizace technologickýchprocesů.6. Vliv geometrických rozměrů na vlastnosti pevných látek. Vlastnosti nanokrystalů a krystalizačních zárodků, základníetapy tvorby nanovrstev a oblasti jejich využití, rozměrové efekty ve struktuře elektronických prvků 7. Miniaturizacea topologie elektronických prvků, technologické operace a funkční vlastnosti součástek, mechanismy degradace elektronickýchprvků.8. Mechanismus elementárních procesů růstu tenkých vrstev epitaxí (VPE, LPE, MBE, MO CVD), napařováním, naprašováníma iontovou implantací, mechanismy difuzních procesů v polovodičích.9. Princip selektivity a postupů technologických operací v mikroelektronice Základní kritéria hodnocení lokálníchoperací, metody vytváření topologického obrazce na podložce, maskování, lokálně aktivované operace, topologicképřeměny a vytváření dodatečných prvků struktury pomocí selektivních operací.10. Vytváření horizontálních a vertikálních struktur. Litografické metody. EUV litografie, elektronová a iontováprojekční litografie. Reaktivní iontové leptání. Technologie přípravy kvantových teček na bázi polovodičů.11. Finální operace, fyzikální metody kontroly defektů, kompozice a obvody lokálních operací, principiální podmínkyodstranění mechanických spojů. Metody LP CVD, LE CVD, PETEOS. Mikro- a nanofabrikace.12.Mikro-optoelektronika, sloučeniny AIIIBV, AIIBVI…, materiály pro laserovou techniku, detektory záření, solárnítechnika.13. Magnetické a dielektrické materiály. Oxidické materiály pro paměťové prvky (ferity, feroelektrika), materiálypro bublinové paměti (granáty).14. Kapalné krystaly. Nematické, lamelární a kolumnární systémy - struktura a její transformace, materiály prozvláštní účely, whiskery. Materiálové inženýrství mikroelektroniky.
Literatura
DRÁPALA, J., KURSA, M. Elektrotechnické materiály. E-learning na http://www.person.vsb.cz/, 2011, 434 s. ROUS, B.: Materiály pro elektroniku a mikroelektroniku. SNTL Praha 1991. BOUDA, V., HAMPL, J., LIPTÁK, J.: Materialsfor Electronics. Textbook of ČVUT Praha, 2000, 208 p. [4] WHITAKER, J.C. Microelectronics. Second Edition. CRC Press, 2006.
Požadavky
Žádné
Garant
prof. Ing. Jaromír Drápala, CSc.
Vyučující
prof. Ing. Jaromír Drápala, CSc.