Předmět Technologie a vlastnosti tenkých vrstev, tenkovrstvé sensory (N444028)
Na serveru studentino.cz naleznete nejrůznější studijní materiály: zápisky z přednášek nebo cvičení, vzorové testy, seminární práce, domácí úkoly a další z předmětu N444028 - Technologie a vlastnosti tenkých vrstev, tenkovrstvé sensory, Fakulta chemicko-inženýrská, Vysoká škola chemicko-technologická v Praze (VŠCHT).
Top 10 materiálů tohoto předmětu
Materiály tohoto předmětu
| Materiál | Typ | Datum | Počet stažení |
|---|
Další informace
Sylabus
1. Mikro- a nanovrstvy: perspektivy, vlastnosti (vliv složení, struktury, tloušťky, technologie)2. Úvod do vakuových technologií, pojem vakuum, střední volná dráha, vakuové napařování3. Katodové naprašování (diodové, nízkotlaké, vysokofrekvenční), měření tloušťky 4. Magnetronové, reaktivní a iontové naprašování, nanovrstvy, iontová implantace5. Technologie CVD, PVD, PECVD, MOVPE, MBE, coating technologie (spin-, spray-, dip-)6. Laserové depoziční metody, interakce záření, PLD, MAPLD, MAPLD-DW, MAPLD-RIR7. Litografie, litografická maska, pozitivní a negativní rezist, metoda přímého psaní8. Optické vlastnosti, antireflexní povlak, interference, holografie, elipsometrie, vlnovody9. Vodivostní senzor plynů, princip a aplikace, porovnání s klasickými analyzátory10. Polovodičové materiály pro senzory, vliv dopantů a vakancí, Schottkyho přechod 11. Tenkovrstvý vodivostní senzor, náhradní schéma, Debyova délka, interakce s plyny12. Příprava tenkých vrstev technologií ink-iet, mechanismy nanášení, ink-jet: tiskárny13. Mikrosenzory připravené technologií ink-jet, multistruktury, tištěné elektronické nosy 14. Tenkovrstvé senzory na bázi QCM, popis rezonance, Sauerbreyova rovniceCvičení:Exkurse do Fyzikálního ústavu AV ČR, ukázky špičkových technologických zařízení
Literatura
Z: W.A. Goddard, D.W.Brenner, S.E. Lyshevski, G.J. Iafrate (eds.): Handbook of Nanoscience, Engineering and Technology, CRC Press 2007, ISBN 0-8493-7563-0 D: I. Hüttel: Technologie materiálů pro elektroniku a optoelektroniku, skripta VŠCHT Praha, 2000D: M. LIBRA: Vakuum - technologie moderní doby. ELEKTRO, 2003
Garant
Vrňata Martin doc. Ing. Dr.Fitl Přemysl Ing. Ph.D.Kopecký Dušan Ing. Ph.D.