Předmět Fyzika plazmatu a plazmatických metod (FCH-DCO_FMD)
Na serveru studentino.cz naleznete nejrůznější studijní materiály: zápisky z přednášek nebo cvičení, vzorové testy, seminární práce, domácí úkoly a další z předmětu FCH-DCO_FMD - Fyzika plazmatu a plazmatických metod, Fakulta chemická, Vysoké učení technické v Brně (VUT).
Top 10 materiálů tohoto předmětu
Materiály tohoto předmětu
| Materiál | Typ | Datum | Počet stažení |
|---|
Další informace
Cíl
1. Získání přehledu o plazmatických technologiích v laboratořích a průmyslu 2. Seznámení se s konkrétními plazmatickými technologiemi používanými v laboratoři fakulty a spolupracujících laboratořích na Masarykově univerzitě, VUT a akademii věd ČR
Osnova
A. Fyzikální základy vakuové techniky 1. Základní zákonitosti plynného stavu hmoty, plyn, pára, ideální plyn, základní zákony, stavová rovnice. 2. Kinetická teorie plynu, rychlostní rozdělení molekul, kinetický výklad tlaku, střední volná dráha molekul a její význam. 3. Transportní jevy, difúze, tepelná vodivost plynu, viskozita plynu. 4. Proudění plynu, základní pojmy, druhy proudění, vzorce pro výpočet vodivosti. 5. Procesy probíhající na stěnách vakuových systémů Interakce molekuly se stěnou systému, sorpce a desorpce, tlak par, vypařování. 6. Procesy probíhají uvnitř stěn vakuových systémů Kapilární kondenzace, proudění a pohlcování plynu porézními látkami, pronikání plynu kompaktními látkami. B. Získávání vakua 1. Teorie čerpacího procesu Průběh čerpání v čase, vliv potrubí na čerpací proces, vliv netěsnosti na čerpací proces. 2. Rozdělení a parametry vývěv Rozdělení vývěv podle principu, parametry vývěv. 3. Transportní vývěvy s periodicky se měnícím objemem Vývěvy rotační, membránové a pístové. 4. Transportní vývěvy pracující s přenosem impulsu Rootsovy vývěvy, difúzní vývěvy a jejich příslušenství, vývěvy molekulární a turbomolekulární. 5. Vývěvy založené na vazbě plynu Vývěvy kryogenní a kryosorpční, vývěvy iontové, vývěvy getrovací. C. Měření ve vakuové technice 1. Úvod Veličiny a jejich jednotky, obory vakua, rozdělení a parametry vakuometrů. 2. Měření celkových tlaků Vakuometry kapalinové a kompresní, tepelné vakuometry, membránové vakuometry, viskózní vakuometry, ionizační vakuometry. 3. Měření parciálních tlaků Principy hmotnostních spektrometrů, měření hmotnostními spektrometry. 4. Měření proudu plynu, měření čerpacích rychlostí vývěv 5. Kalibrace vakuometrů 6. Hledání netěsností ve vakuových aparaturách Přehled metod hledání netěsností, princip a obsluha héliového hledače netěsností. D. Materiály pro vakuovou techniku 1. Požadavky kladené na materiály pro použití ve vakuu 2. Přehled materiálů a jejich použití ve vakuové technice E. Vakuové aparatury 1. Stavební prvky vakuových aparatur Vakuové komory, potrubí, nerozebíratelné spoje, rozebíratelné spoje, ventily, průchodky. 2. Vakuové aparatury pro hrubé a jemné vakuum Součinnost vývěv, typické aplikace, čerpání agresivních a kondenzujících plynů. 3. Vakuové aparatury pro vysoké vakuum Koncepce vysokovakuových apartur, jejich provoz, typické aplikace. 4. Ultravakuové aparatury Koncepce UHV aparatur, jejich provoz, typické aplikace. 5. Čisticí postupy, vakuová hygiena
Literatura
Francis F. Chen: A Úvod do fyziky plazmatu, , 0 (CS) Francis F. Chen : Úvod do fyziky plazmatu, , 0 (CS) Boleslav Gross : Technika plazmatu, , 0 (CS)Boleslav Gross : Technika plazmatu, , 0 (CS)André Ricard : Reactive Plasmas, , 0 (CS)André Ricard : Reactive Plasmas, , 0 (CS)
Požadavky
Není specifikováno.
Garant
doc. Ing. Ota Salyk, CSc.