Předmět Tenké vrstvy (FCH-MCO_TVR)
Na serveru studentino.cz naleznete nejrůznější studijní materiály: zápisky z přednášek nebo cvičení, vzorové testy, seminární práce, domácí úkoly a další z předmětu FCH-MCO_TVR - Tenké vrstvy, Fakulta chemická, Vysoké učení technické v Brně (VUT).
Top 10 materiálů tohoto předmětu
Materiály tohoto předmětu
| Materiál | Typ | Datum | Počet stažení |
|---|
Další informace
Cíl
Cílem kurzu je seznámit studenty s pokročilými technologiemi přípravy a analýzy tenkých vrstev.
Osnova
Úvod / Informační zdrojeZáklady techniky vakuaÚvod do fyziky a chemie plazmatuFyzikální metody pro přípravu tenkých vrstevChemické metody pro přípravu tenkých vrstevPlazmochemická depozice z plynné fázeRůst tenké vrstvyMěření tloušťky tenkých vrstevRastrovací sondová mikroskopieMechanické vlastnosti tenkých vrstev
Literatura
Ohring M.: Materials Science of Thin Films. Academic Press, San Diego 2002. (CS)M. Ohring, The Materials Science of Thin Films, Academic Press 2001 (CS)Hoffman D., Singh B., Thomas J. H.: Handbook of Vacuum Science and Technology. Academic Press, San Diego 1998. (CS)D.M. Hoffman, B. Singh, J.H. Thomas, Handbook of Vacuum Science and Technology, Academic Press 1998 (CS)Mironov V. L.: Fundamentals of Scanning Probe Microscopy. Tekhnosfera, Moscow 2004. (CS)N. Inagaki, Plasma Surface Modification and Plasma Polymerization, Technomic 1996 (CS)Eckertová L.: Fyzika tenkých vrstev. SNTL, Praha 1973. (CS)
Požadavky
Základy chemie a fyziky.
Garant
prof. RNDr. Vladimír Čech, Ph.D.
Vyučující
prof. RNDr. Vladimír Čech, Ph.D.