Předmět Návrh vakuových soustav pro technologie v mikroelektronice (FEKT-BEPT)

Na serveru studentino.cz naleznete nejrůznější studijní materiály: zápisky z přednášek nebo cvičení, vzorové testy, seminární práce, domácí úkoly a další z předmětu FEKT-BEPT - Návrh vakuových soustav pro technologie v mikroelektronice, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií, Vysoké učení technické v Brně (VUT).

Materiál	Typ	Datum	Počet stažení

Cíl

Získání znalostí potřebných pro porozumění moderním a perspektivním vakuovým výrobně technologickým procesům v elektronice, elektrotechnice, a ve strojírenství. Seznámení s používaným software (USA), pro návrh vakuových sestav.

Osnova

1) Klasifikace vakua, plyn, pára, tlak a jednotky tlaku a přepočty, vlastnosti atomů a molekul plynu, zákony ideálního plynu, Boyle Mariottův , Gay Lussacův , stavová rovnice plynů, zákon Daltonův, důležité konstanty, povrchové napětí plynu.2) Základy kinetické teorie plynů - plyn za nízkých a vysokých tlaků, částicový déšť , závislost tlaku na koncentraci a teplotě , střední volná dráha mol. plynu , Maxwel-Boltzmannovo rozložení rychlosti, objemové a transportní jevy - difuze, efuse, viskozita plynu, součinitelé přenosu za nízkých a vysokých tlaků.3) Proudění plynu vakuovým potrubím - analogie s elektrickým proudem, objemový a hmotnostní proud plynu, odpor a vodivost potrubí, řazení potrubí, druhy proudění - turbulentní, viskózní, molekulární, efúzní4) Povrchové procesy - sorpce, desorpce, vazební síly, monomolekulární a multimolekulární vrstvy, základní adsorpční isotermy, tlaky nasycených par, kapilární kondenzace5) Ionizovaný plyn, pohyb elektronů v elektrickém a magnetickém poli, plazma a její vlastnosti6) Mezní tlaky a čerpací rychlosti vývěv - čerpací rychlost její měření, časy potřebné k vyčerpání na žádaný tlak, mezní tlaky, vliv netěsnosti, getry, schematické značky7)Teorie činnosti a konstrukce vývěv - parametry vývěv, transportní a sorpční vývěvy, rotační vývěvy, Rootsova vývěva, turbomolekulární vývěva. tryskové-ejektorové a difúzní vývěvy. Sorpční vývěvy, titanová sublimační a titanová výbojová vývěva, diodová a triodová iontová vývěva. Kryogenní vývěvy, kryosorpční - zeolitové vývěvy8) Měření vakua - absolutní vakuometry - Torricelli trubice , U – trubice, McLeod, vakuoměry tepelné - termočlánkový a odporový (Piraniho). ionizační vakuoměry - výbojový ( Penningův), triodový ionizační, konstrukční provedení vakuometrů 9) Hledání netěsností. Konstrukce vakuových aparatur - materiály, provedení, průchodky, kohouty, ventily, těsnění, charakter průmyslových konstrukcí, pohyby, držáky ve vakuu, manipulace se substráty, materiály pro vakuum10) Návrh vakuových soustav. Ekonomická kritéria, Specifika návrhu pro výzkum a pro sériovou výrobu, vlastnosti a schopnosti software VACTRAN11) Technologické principy používané v elektronice a mikroelektronice – vakuové napařování, iontové naprašování, plazmové leptání a čistění12) Průmyslové konstrukce technologických zařízení , pokovení plastů - výroba MP kondenzátorů, realizace kovových kontaktů, úprava povrchů.

Literatura

Fikes,L.: Fyzika nízkých tlaků, SNTL, Praha, 1991. (CS)Pátý,L.: Vakuová technika, ČVUT, Praha, 1990. (CS)Grozskowski J.: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha, 1981 (CS)V.Hulínský, K.Jurek: Zkoumání látek elektronovým paprskem, SNTL, Praha 1982 (CS)J. F. O‘Hanlon: A User‘s Guide to Vacuum Technology, John Wiley & Sons Inc., Hoboken, New Jersey (EN)A.Roth: Vacuum Technology, 1990 Elsevier Science B.V. 1990, ISBN 0 444 880100 (EN)Jaroslav Boušek, Josef Šandera: Elektrovakuové přístroje a technika nízkých teplot, skriptum FEKT VUT, Brno 2003Jaroslav Boušek, Josef Šandera: Elektrovakuové přístroje a technika nízkých teplot, skriptum FEKT VUT, Brno 2003 (CS) Professional Engineering Computations - VacTran-Vacuum Technology Software, www.vactran.com (EN)ŠANDERA, J.,BOUŠEK, J., KOSINA, P.:Návrh vakuových soustav pro technologie v mikroelektronice. Prezentace projektu KISP. Brno 2014

Požadavky

Jsou požadovány znalosti na úrovni středoškolského studia.

Garant

doc. Ing. Josef Šandera, Ph.D.

Vyučující

doc. Ing. Josef Šandera, Ph.D.