Předmět Mikroelektronické technologie (FEKT-DME2)
Na serveru studentino.cz naleznete nejrůznější studijní materiály: zápisky z přednášek nebo cvičení, vzorové testy, seminární práce, domácí úkoly a další z předmětu FEKT-DME2 - Mikroelektronické technologie, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií, Vysoké učení technické v Brně (VUT).
Top 10 materiálů tohoto předmětu
Materiály tohoto předmětu
| Materiál | Typ | Datum | Počet stažení |
|---|
Další informace
Cíl
Student se seznámí se základními i pokročilými metodami a technikami vytváření mikrostruktur a polovodičových součástek, s materiály, pravidly pro jejich realizaci a moderními nanotechnologiemi v polovodičovém průmyslu.
Osnova
Základní metody nanášení tenkých vrstev, materiály využívané v tenkovrstvé technologii, vytváření topografie, litografie, anizotropní a isotropní leptání mikrostruktur, termická a chemická oxidace, anodizace, difúze příměsí, pasivační vrstvy, moderní metody vytváření mikrostruktur, MEMS, nanotechnologie a nanoelektronika, NEMS.
Literatura
Není specifikováno.
Požadavky
není
Garant
doc. Ing. Jaromír Hubálek, Ph.D.
Vyučující
doc. Ing. Jaromír Hubálek, Ph.D.