Předmět Microelectronic technologies (FEKT-DME2A)
Na serveru studentino.cz naleznete nejrůznější studijní materiály: zápisky z přednášek nebo cvičení, vzorové testy, seminární práce, domácí úkoly a další z předmětu FEKT-DME2A - Microelectronic technologies, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií, Vysoké učení technické v Brně (VUT).
Top 10 materiálů tohoto předmětu
Materiály tohoto předmětu
| Materiál | Typ | Datum | Počet stažení |
|---|
Další informace
Cíl
Student is going to familiarize with the elemental and advanced methods and techniques for the microstructures and semiconductor devices fabrication, with materials, rules for their creation and modern nanotechnologies in semiconductor industry.
Osnova
Elemental methods for the thin-film deposition, materials in the thin-film technology, topography design, lithography, anisotropic and isotropic etching of the microstructures, the thermal and chemical oxidation, anodization, impurity diffusion, passive layers, modern methods of the microstructure creation, MEMS, nanotechnology and nanoelectronics, NEMS.
Literatura
Není specifikováno.
Požadavky
no
Garant
doc. Ing. Jaromír Hubálek, Ph.D.
Vyučující
doc. Ing. Jaromír Hubálek, Ph.D.