Předmět Elektrovakuové přístroje a technika nízkých teplot (FEKT-KEPT)
Na serveru studentino.cz naleznete nejrůznější studijní materiály: zápisky z přednášek nebo cvičení, vzorové testy, seminární práce, domácí úkoly a další z předmětu FEKT-KEPT - Elektrovakuové přístroje a technika nízkých teplot, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií, Vysoké učení technické v Brně (VUT).
Top 10 materiálů tohoto předmětu
Materiály tohoto předmětu
| Materiál | Typ | Datum | Počet stažení |
|---|
Další informace
Cíl
Získání znalostí potřebných pro porozumění moderním a perspektivním vakuovým výrobně technologickým procesům v elektronice, elektrotechnice, a ve strojírenství.
Osnova
Plyn, pára, tlak. Zákony ideálního plynu. Stavová rovnice plynů. Základy kinetické teorie plynů. Střední volná dráha molekul plynu, Maxwelovo-Boltzmannovo rozložení rychlostí molekul plynu. Procesy při čerpání. Proudění plynu vakuovým potrubím, odpor a vodivost potrubí. Vliv netěsností a desorpce. Druhy proudění - turbulentní, viskózní, molekulární, efúzní. Procesy při čerpání - transportní a sorpční vývěvy. Rotační vývěvy, Rootsova vývěva, turbomolekulární vývěva. Tryskové-ejektorové a difúzní vývěvy. Sorpční vývěvy. Základní technologické operace při výrobě elektrovakuových přístrojů. Speciální elektronické obvody pro elektrovakuové přístroje - vysokonapěťové zdroje, vysokofrekvenční generátory, měření velmi malých proudů, obvody pro oddělení potenciálu, elektronické ochranné obvody. Přístroje založené na měření makroskopických vlastností plynu.Vakuoměry tepelné. Hmotnostní průtokoměry. Viskozní vakuoměry. Ionizační vakuoměry. Přístroje založené na řízení trajektorie nabitých částic - termoemise, ionizace, magnetické a elektrostatické vychylování. Přístroje založené na řízení trajektorie nabitých částic - hmotnostní spektrometry. Přístroje založené na řízení trajektorie nabitých částic - elektronové mikroskopy Přístroje založené na použití kryogenní techniky - kryogenní technika v elektrovakuové technice, kryogenní a kryosorpční vývěvy. Přístroje založené na použití kryogenní techniky - supravodivost, využití supravodivosti. Přístroje využívající výboje v plynu - typy výbojů a příklady jejich využití. Parametry plazmatu a jejich měření. Přístroje využívající výboje v plynu katodové naprašování, plazmatická depozice z plynné fáze, suché leptání. Titanová výbojová vývěva, iontová vývěva.
Literatura
Fikes,L.: Fyzika nízkých tlaků, SNTL, Praha, 1991. (CS)Pátý,L.: Vakuová technika, ČVUT, Praha, 1990. (CS)Grozskowski J.: Technika vysokého vakua, SNTL, Praha, 1981 (CS)
Požadavky
Jsou požadovány znalosti na úrovni středoškolského studia.
Garant
prof. Ing. Jaroslav Boušek, CSc.
Vyučující
prof. Ing. Jaroslav Boušek, CSc.