Předmět Fyzikální principy technologie výroby polovodičů (FSI-TP0)
Na serveru studentino.cz naleznete nejrůznější studijní materiály: zápisky z přednášek nebo cvičení, vzorové testy, seminární práce, domácí úkoly a další z předmětu FSI-TP0 - Fyzikální principy technologie výroby polovodičů, Fakulta strojního inženýrství, Vysoké učení technické v Brně (VUT).
Top 10 materiálů tohoto předmětu
Materiály tohoto předmětu
| Materiál | Typ | Datum | Počet stažení |
|---|
Další informace
Cíl
Hlavním cílem kurzu je využitím přednášek odborníků z praxe umožnit studentům - vyjmenovat a popsat jednotlivé kroky při výrobě a zpracování polovodičových materiálů - aplikovat základní znalosti fyziky za účelem fyzikální a chemický popis výrobních postupů
Osnova
Není specifikováno.
Literatura
KERN, Werner. /Handbook of Semiconductor Wafer Cleaning Technology:Science, Technology, and Applications/. New Jersey, U.S.A.: Noyes Publications, 1993. 623 sKITTEL, Charles. /Úvod do fyziky pevných látek : Introduction to solid state physics (Orig.)/. 1. vyd. Praha: Academia, 1985. 598 sWOLF, Stanley a Richard N. TAUBER. /Silicon Processing for the VLSI Era/. Sunset Beach, California, U.S.A.: Lattice Press, 1999. 960 s. Vol. 1: Process Technology
Požadavky
Fyzika pevných látek, chemie
Garant
prof. RNDr. Josef Humlíček, CSc.
Vyučující
prof. RNDr. Josef Humlíček, CSc.