skripta

¶ 12 ·

1.11.4. Řádkovací elektronový mikroskop
 U řádkovacího elektronového mikroskopu (REM;  scanning electron microscope - SEM), na rozdíl od  výše uvedeného
prozařovacího typu, elektrony  nepronikají preparátem, ale na jeho povrchu jsou  pohlcovány a vyrážejí naopak tzv.
sekundární elektrony nebo se odrážejí. I u tohoto typu mikroskopu je svazek elektronů vytvářen obdobným systémem
jako u prozařovacího (tj. katodou, Wehneltovým  válcem a anodou). Elektrony procházejí kondenzorem  a dále objekti-
vem. U objektivu jsou však vychylovací cívky, které způsobují, že se paprsek v řádkách pohybuje po povrchu studova-
ného objektu. Obdobné napětí jako na vychylovací cívkyobjektivu je přiváděno i na vychylovací cívky obrazovky.
Sekundární elektrony jsou přitahovány  slabě kladně nabitou mřížkou v blízkosti preparátu. Tato mřížka je umístěna
před scintilátorem.  Zde jsou elektrony opět urychleny vysokým napětím  (okolo 10 - 12 kV) a dopadají na scintilátor,
kde  vyvolají vznik fotonů, které jsou elektronicky dále zpracovány a zesíleny. Tento signál je přiveden  na katodu
obrazovky, na jejímž stínítku vzniká obraz povrchu studovaného preparátu. Z obrazovky je  také fotograficky snímán
obraz. Aby elektrony dopadající na povrch preparátu daly co nejlepší obraz, bývá tento povrch zpravidla pokoven (po-
zlacen). Celý schematicky popsaný zobrazovací systém  je umístěn ve sloupu rastrovacího mikroskopu, kde  pochopi-
telně musí být stále vytvářeno vysoké vakuum.

1.11.5. Analytický elektronový mikroskop
 Velmi podobný je princip analytických elektronových mikroskopů, které mohou být konstruovány  jak na principu
prozařovacích (transmisních), tak  i rastrovacích elektronových mikroskopů.
 Zde je nutno připomenout alespoň nejjednodušší  Bohrův model atomu, kde na různých dráhách okolo  jádra obíhají
elektrony. Tyto dráhy jsou označovány různými písmeny (K, L, M atd).
 Dopadne-li elektron vystřelený z elektronového děla mikroskopu na preparát, může z některé  dráhy elektronů prvku,
podílejícího se na stavbě  této oblasti preparátu, uvolnit elektron, který si  nese charakteristické napětí (dle prvku a
dráhy,  na které se pohyboval [obdoba X-paprsků]). Tyto  elektrony jsou zachycovány detektorem, resp. detektory
umístěnými nad preparátem a údaje jsou,pro jejich složitost, zpracovávány počítačem.  Výsledný záznam poskytuje
vedle obrazu (transmisního nebo řádkovacího) i údaje v podobě histogramu  (kde na x-ose jsou elektronvoltové cha-
rakteristiky elektronů prvků a na y-ose kvantitativní údaje)  o analyzované oblasti, případně vyhodnocení, které  sloupce
náležejí různým dráhám stejného prvku. Na  těchto přístrojích je tedy možné provádět prvkovou  analýzu studované
oblasti preparátu. Množství prvku, které může být ještě zaznamenáno je okolo  10-20 – 10-21 g a analyzované pole může
být i menší než 200 nm. Detekce záleží rovněž na atomovém  čísle prvku a prvky s nízkými atomovými čísly většinou
nemohou být stanoveny.